固体の試料の表面(数nm)に、どんな元素があり、他の元素とどのように結合しているか、を知ることができます。

また、試料を掘りながら（アルゴンガスエッチング）、深さ方向への測定も可能です。

固体試料にどんな化合物(物質)が存在しているか、を知ることができます。

複数の化合物が混ざっている場合でも、それぞれ何であるかわかります。

粉末の他、板状、塊といった形状でも分析できます。

光硬化樹脂液を吹き付けて固めて作ります。

下記光造形と比べ、精度は同等に良いのですが、材料が高価です。

熱で溶かした材料を積み重ね作ります。

精度はあまりよくありませんが、耐候性がよいです

一般の3Dプリンタでは難しい中空の構造も製作することができます。

上記インクジェット式と同等精度、材料は安価で高強度ですが、湿気に弱いです。

100万倍の高倍率（1nmが分かる）で、試料表面の静止画・動画を撮影できます。

試料を-20～1,500 ℃に冷却・加熱したり、～2,700 Paの低真空水蒸気下で乾燥させない等、多様な条件にできます。

また、元素分析もでき、絶縁物・生物など観察対象範囲が広い装置です。

試料に含まれる元素の種類・濃度を調べることができます。

含まれる量が数ppmの低濃度でも検出でき、固体だけでなく液体も測定することができます。