| 授業の目標と概要 |
| 現代のキーテクノロジーである半導体素子を中心に素子およびそれらを構成する材料の評価技術について学習す |
| る。物性評価は、素子設計上必要な要求品質を考えながら、その物性を計測すること、その結果を処理、解釈するこ |
| とが必要となる。材料物性の基礎的な評価方法である、結晶構造評価、電気特性評価、光学特性評価および最新の評 |
| 価技術について学習する。 |
|
| カリキュラムにおける位置づけ |
| 本学科のカリキュラムは情報・通信、電子物性・デバイス、エネルギー・制御の３分野で構成されており、本科目 |
| は電子物性・デバイス分野に位置している。電子物性の基礎的な科目を理解した上で、評価技術を習得する。 |
|
|
|
| 1. イントロダクション |
2 |
|
|
| 2. 「僕たちはだまされている」 |
2 |
| 電子ディスプレイにみる材料物性 |
|
|
|
| 3. 「僕らのとるデータは正しいのか」(1) |
2 |
| 有効数字・正確さ・精密さ |
|
|
|
| 4. 「僕らのとるデータは正しいのか」(2) |
2 |
| 最小２乗法と最確値 |
|
|
|
| 5. 「電流はまっすぐ流れるのか」(1) |
2 |
| 抵抗・抵抗率、コンタクト抵抗 |
|
|
|
| 6. 「電流はまっすぐ流れるのか」(2) |
2 |
| ホール測定と移動度 |
|
|
|
| 7. 「電子線の不思議」(1) |
2 |
| ブラウン管と電子線、波と粒子性質 |
|
|
|
|
| 8. 「電子線の不思議」(2) |
2 |
| 反射高速電子線回折, 透過型電子顕微鏡 |
|
|
|
| 9. 「半導体は結晶である：理想論」 |
2 |
| 結晶構造とＸ線回折、ミラー指数 |
|
|
|
| 10. 「Ｘ線で壊さずに組成を知る」 |
2 |
| Ｘ線光電子分光法、オージェ電子分光法 |
|
|
|
| 11. 「壊して組成を知る」 |
2 |
| エッチング方法、２次イオン質量分析(SIMS) |
|
|
|
| 12. 「光る半導体：発光色と材料物性」 |
2 |
| 発光ダイオード、分光器、フォトディテクタ |
|
|
|
| 12. 「光通信は狼煙(のろし)のようなもの？ |
2 |
| 波長分割多重(WDM)通信 |
|
|
