| 【課題】 |
| 新規性電気電子材料の作製と基礎評価 |
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| 【概要】 |
| 本研究課題は，社会のニーズおよび学術論文より電気電子材料分野の新規材料に関する興味と必要性を学修させ， |
| 機能性材料の物性論からプロセス装置による作製・評価を通じ，応用に向けた新規材料開発を行うことである。その |
| 中で主に，化合物半導体または炭素材料に関連する新規材料開発を行う。化合物半導体では，薄膜作製技術としてド |
| ライプロセス（スパッタリング法，改良型真空蒸着法，アークイオンプレーティング法など）に関して学修・成膜を |
| 行う．評価結果および論文調査を基に考察を行い，実験条件を検討して最適条件を見出す。また炭素材料は，黒鉛層 |
| 間化合物に関する開発検討を行う。ポリイミド由来の黒鉛膜の層間にアルカリ金属元素を入れることにより電気伝導 |
| 度が変化する現象がある。化学的生成手法を学修し，生成・評価を行い化合物半導体と同様に評価結果および論文調 |
| 査を基に考察を行い新規材料の開発を行う。これらのプロセスを通して，新規電気電子材料に関する開発能力を養 |
| う。 |
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| 【キーワード】 |
| Ｘ線回折法，光電子分光法，電気伝導評価，電子顕微鏡，組成評価 |
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| 【計画】 |
| ・学生は専攻科１年次の特別研究Ⅰで化合物半導体、層間化合物または、新規材料開発に関するテーマを選び，研究 |
| を遂行し，１年次の特別研究Ⅰを継続して，１年間にわたりその分野を専門とする担当教員から特別研究Ⅱの指導を |
| 受ける．授業は学生が主体的にＰＤＣＡサイクルをまわすことにより進める． |
| ・特別研究Ⅱの前期授業時間割表を設定する．（４月） |
| ・取り組むテーマの内容, 特にその背景や具体的な問題点を社会ニーズの調査および論文調査を通して把握する． |
| （２０時間） |
| ・材料生成技術および理論を学修し，問題解決に向けた実験手法、実験条件を検討して，計画的に実行する．（５０ |
| 時間） |
| ・研究を進める上で必要な実験装置や評価装置、更にはソフトウェアの使用法について理解し，適切に操作し，使用 |
| する（５０時間）． |
| ・期待通りの成果（性能）が得られなかった場合，その原因を考察し，新たな問題を見出し，実験方法および評価方 |
| 法について検討しに実行する．（１１０時間） |
| ・特別研究Ⅱ中間発表の準備．（６月～７月）（３０時間） |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で要旨を提出し，成果発表を行う．発表形式は学会の講演形式に準じたものとする．（６月 |
| ～７月）（１０時間） |
| ・特別研究Ⅱの後期授業時間割表を設定する（１０月）． |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で指摘された内容および未着手の課題について，実験および考察を計画的に遂行する．（２ |
| ００時間） |
| ・特別研究Ⅱ最終発表の準備．（１月～２月）（３０時間） |
