| 【課題】 |
| 光波を利用したセンサに関する研究 |
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| 【概要】 |
| 本研究課題では、光波を利用したセンサや測定技術にフォーカスを当てていく。特に、光波の特徴である非接触測定 |
| や絶縁性を活かし、医療分野や化学プラント、発電所などでの応用を目指す。現状の問題を調査し、それを解決する |
| 従来手法の改善や新規手法の提案を試みる。次に、提案手法の理論解析をシミュレーションを通じて行い、センサを |
| 設計するための指針を構築する。さらに、センサが実際に実現可能か調べるために、実際の現場にあわせたセンサ設 |
| 計を行い、ＭＥＭＳ技術、半導体プロセス技術によりセンサを試作し、実現可能性をものづくりで確認する。試作セ |
| ンサの評価を行い、問題が発見された場合、理論解析や設計に戻り、改善を加える。これらのプロセスを通して、光 |
| エレクトロニクス、センサ工学の知識、技術を養う。 |
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| 【キーワード】 |
| 光エレクトロニクス，センサ，ＭＥＭＳ，光導波路 |
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| 【計画】 |
| ・学生は専攻科１年次の特別研究Ⅰで光波を利用したセンサに関するテーマを選び，研究を遂行し，１年次の特別研 |
| 究Ⅰを継続して，１年間にわたりその分野を専門とする担当教員から特別研究Ⅱの指導を受ける．授業は学生が主体 |
| 的にＰＤＣＡサイクルをまわすことにより進める． |
| ・特別研究Ⅱの前期授業時間割表を設定する．（４月） |
| ・取り組むテーマの内容, 特にその背景や具体的な問題点を論文調査により把握する．（２０時間 |
| ・光エレクトロニクスの基礎理論を基に，課題解決に向けた実験手法，実験条件，評価方法を検討し，計画的に実行 |
| する．（５０時間） |
| ・研究を進める上で必要なセンサ作製プロセス実験装置や理論解析のためのシミュレーションソフトウェアの使用法 |
| について理解し，適切に操作し，使用する（５０時間）． |
| ・期待通りの成果（性能）が得られなかった場合，その原因を考察し，新たな問題解決方法，評価方法，および実験 |
| 方法について提案し、検討・評価を適宜実行する．（１１０時間） |
| ・特別研究Ⅱ中間発表の準備．（６月～７月）（３０時間） |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で要旨を提出し，成果発表を行う．発表形式は学会の講演形式に準じたものとする．（６月 |
| ～７月）（１０時間） |
| ・特別研究Ⅱの後期授業時間割表を設定する（１０月）． |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で指摘された内容および未着手の課題について，実験および考察を計画的に遂行する．（２ |
| ００時間） |
| ・特別研究Ⅱ最終発表の準備．（１月～２月）（３０時間） |
| ・特別研究Ⅱ最終発表会で要旨を提出し，成果発表を行う．発表形式は学会の講演形式に準じたものとする．（１～ |
| ２月）（１０時間） |
| ・特別研究Ⅱ論文を提出し，指導教員の査読を受ける．修正が必要な場合は，修正後論文を再提出し，再度指導教員 |
