| 【課題】 |
| 荷電粒子を用いた薄膜材料創成に関する研究 |
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| 【概要】 |
| 新しい機能性・特性を有する電子材料の開発には、その製造技術の発展により元素の組み合わせのみならず、表面 |
| 加工・改質によりその物性を制御し、さらに新しい物性を引き出す探求が進められている。本科目では最先端の論文 |
| を引用しながら問題点や課題を調査・抽出し、その解決に向けてプラズマ、イオン、電子などの荷電粒子を用いた薄 |
| 膜材料の結晶性制御、組成制御を実験的に行い、基本的な薄膜材料評価技術を用いて薄膜材料を分析し、取り組む課 |
| 題について検証する。 |
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| 【キーワード】 |
| 荷電粒子(プラズマ、イオン、電子)、薄膜形成技術、薄膜材料、薄膜評価技術 |
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| 【計画】 |
| ・学生は専攻科１年次の特別研究Ⅰで興味のあるテーマを選択し、研究を遂行し、１年次の特別研究Ⅰを継続して１ |
| 年間にわたりその分野を専門とする担当教員から特別研究Ⅱの指導を受ける。授業は学生が主体的にPDCAサイクルを |
| 回すことにより進められる。 |
| ・特別研究Ⅱの前期授業時間割を設定する。(４月) |
| ・取り組むテーマの内容、特にその背景や具体的な問題点を把握する。(２０時間) |
| ・具体的な問題解決手法、評価方法、および実験方法について理解し、計画的に実行する。(５０時間) |
| ・研究を進める上で必要な実験装置・分析機器の使用法について理解し、適切に操作し使用する。(５０時間) |
| ・期待通りの成果が得られなかった場合、その原因を考察し、新たな問題解決方法、評価方法、および実験方法につ |
| いて理解し、実行する。(１１０時間) |
| ・特別研究Ⅱ中間発表の準備(６月頃)(３０時間) |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で要旨を提出し、成果発表を行う。発表形式は学会の講演形式に準じたものとする。(６月 |
| 頃)(１０時間) |
| ・特別研究Ⅱの後期時間割を設定する。(１０月) |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で指摘された内容および未着手の課題について、実験および考察を計画的に遂行する。(２０ |
| ０時間) |
| ・特別研究Ⅱ最終発表の準備(１～２月)(３０時間) |
| ・特別研究Ⅱ最終発表会で要旨を提出し、成果発表を行う。発表形式は学会の講演形式に準じたものとする。(１～２ |
| 月)(１０時間) |
| ・特別研究Ⅱ論文を提出し、指導教員の査読を受ける。修正が必要な場合は修正後の論文を提出し再度査読を受け |
| る。(１～２月)(２５時間) |
| ・最終発表の英文概要は英語科教員と担当教員が共同で指導する。(５時間) |
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