| 【課題】 |
| 機能性材料の作製と評価に関する研究 |
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| 【概要】 |
| 本研究課題は、機能性材料の物性論から実プロセス装置による作製・評価を通じ、応用に向けた新材料開発を行う |
| ことである。その中で主に、化合物半導体と透明導電膜に対して、薄膜の結晶成長モデルから物理モデルから考察 |
| し、薄膜作製の実験結果との比較検討を行い、そこにある複数の課題を見出す。実験条件の見直し、装置の改造など |
| を通じて、問題解決に向けた実験方法を検討する。さらに、複数の物性評価装置、光リソグラフィー装置などを用い |
| て、電気的・光学的な物性を評価し，さらに他研究者との議論を通じて、光センサ，太陽電池，MEMSセンサなどの電 |
| 子デバイスへの応用を検討する。これらの提案―実験―評価―検討議論を通じて、薄膜作製・評価技術のスキル及 |
| び、新材料開発能力を養う． |
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| 【キーワード】 |
| 機能性材料，電子物性，真空蒸着，薄膜，結晶成長，半導体，光リソグラフィー，光センサ，太陽電池，透明導電 |
| 膜，MEMSセンサ |
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| 【計画】 |
| ・学生は専攻科１年次の特別研究Ⅰで化合物半導体、透明導電膜又は、新材料開発に関するテーマを選び，研究を遂 |
| 行し，１年次の特別研究Ⅰを継続して，１年間にわたりその分野を専門とする担当教員から特別研究Ⅱの指導を受け |
| る．授業は学生が主体的にＰＤＣＡサイクルをまわすことにより進める． |
| ・特別研究Ⅱの前期授業時間割表を設定する．（４月） |
| ・取り組むテーマの内容, 特にその背景や具体的な問題点を研究論文及び、プロセス実験を通じて把握する．（２ |
| ０時間） |
| ・薄膜成長理論を考慮し、課題解決に向けた実験手法、実験条件、評価方法を検討し、計画的に実行する．（５０ |
| 時間） |
| ・研究を進める上で必要な真空蒸着実験装置、物性計測機器、X線回折や表面モルフォロジーなどのデータ解析手法 |
| について理解し，適切に操作し，使用する（５０時間）． |
| ・期待通りの成果（性能）が得られなかった場合，その原因を考察し， |
| 新たな問題解決方法を検討し、実験・評価を随時実行する．（１１０時間） |
| ・特別研究Ⅱ中間発表の準備．（６月～７月）（３０時間） |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で要旨を提出し，成果発表を行う． |
| 発表形式は学会の講演形式に準じたものとする．（６月～７月）（１０時間） |
| ・特別研究Ⅱの後期授業時間割表を設定する（１０月）． |
| ・特別研究Ⅱ中間発表会で指摘された内容および未着手の課題について， |
| 実験および考察を計画的に遂行する．（２００時間） |
| ・特別研究Ⅱ最終発表の準備．（１月～２月）（３０時間） |
