教科目名
精密・微細加工学
Advanced Micro-Precision Processing
担 当 教 官
：
角田 陽
学年、学科等
：
2年
専攻科機械情報専攻
通常講義
単位数 期間
：
選択
2 単位
前期
週2時間
（合計 30 時間）
授業の目標と概要
ナノテクノロジの時代の現在，各種の機械要素においてもナノメートル(ｎｍ)オーダの寸法･形状精度が必要となっ
てきている．そこでは，切削や研削といった従来の加工法に加えて，電気的，物理的、化学的な作用を利用した加工
法が用いられる．本講義では，μｍオーダから原子単位に至るまでの超精密な先端加工法の原理，基礎理論 等を学
び，ナノテクノロジ時代を開拓する実践的エンジニアの基礎的素養として，基礎を築く．
カリキュラムにおける位置づけ
ナノテクノロジ時代にふさわしい，機械情報系実践的エンジニアとしての基礎とする．
授業の内容
時間
１．微細・超精密加工の概要
3
２．形状創成のエネルギ，力学
3
３．レーザ加工
3
４．電子ビーム加工，放電加工
3
５．イオンビーム加工，スパッタリング
3
６．超精密加工
3
７．リソグラフィ
4
７．エッチング加工
4
８．真空蒸着
3
９．まとめ
前期末試験
1
教科書
関連資料をその都度，必要に応じて配布する．
補助教科書
履修上の注意
評価基準
定期試験と課題等による評価を実施
評価法
レポートなど50%，レポートなど50%
学習・教育目標
東京高専
C-6
JABEE
(d)
