| 授業の目標と概要 |
| プラズマの基本的な性質、気体放電の基礎、各種放電現象について学習する。さらにプラズマ応用技術の一例とし |
| て、プラズマプロセッシングについての理解を深めることを目標とする。 |
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| カリキュラムにおける位置づけ |
| 気体放電により生成されるプラズマはさまざまな分野で利用されている。本授業では電子材料プロセスなどと関連付 |
| けてプラズマ応用技術を理解するため、物理、応用物理、電磁気、及び数学的な知識に基づいて講義する。 |
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| 科目ガイダンス |
1 |
| １．真空中の電子の運動 |
2 |
| 電界や磁界による電子の加減速、電子の運動軌跡を計算することができる。 |
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| ２．気体放電の基礎 |
6 |
| プラズマの基礎過程として電子と原子・分子との衝突現象を理解し、気体放電の基礎を説明できる。 |
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| ３．放電条件とコロナ放電・アーク放電 |
4 |
| 気体の絶縁破壊による放電開始条件及び各種放電現象を理解し、説明できる。 |
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| ４．グロー放電 |
6 |
| グロー放電を理解し、説明できる。 |
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| ５．プラズマ諸量とプラズマ診断 |
4 |
| プラズマの基本的性質やプラズマ診断法を理解し、プラズマ諸量を計算することができる。 |
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| ６．プラズマ応用と調査学習 |
6 |
| プラズマの応用技術の一例として各種プラズマプロセス技術について理解し、説明できる。 |
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| 学習した内容に関する文献を調査することにより、学習内容の理解を深めるとともにプレゼンテーション |
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| 力を養う。 |
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| 教科書 |
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| 補助教科書 |
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IU プラズマエレクトロニクス 菅井秀郎編著 オーム社
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| 履修上の注意 |
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物理学、応用物理、電磁気学、数学の知識を必要とする。
授業の予習・復習及び演習については自学自習により取り組み学修すること。
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| 評価基準 |
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定期試験及びレポートにより、気体放電の基礎と各種放電現象を理解していること。
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| 評価法 |
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| 学習・教育目標 |
東京高専 |
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JABEE |
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