| 授業の目標と概要 |
| 現在はナノテクノロジの時代といわれ，機械要素においてもナノメートル(ｎｍ)オーダの寸法･形状精度が必要となっ |
| てきている．そこでは，切削や研削といった従来の加工法に加えて，電気的，物理的、化学的な作用を利用した加工法 |
| が用いられる．本講義では，μｍオーダから原子単位に至るまでの超精密な先端加工法の原理，基礎理論 等を学ぶ． |
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| カリキュラムにおける位置づけ |
| ナノテクノロジ時代にふさわしい，機械系エンジニアとしての基礎とする． |
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| １．微細・精密加工の概要 |
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| ２．形状創成のエネルギ，力学 |
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| ３．レーザ加工 |
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| ４．電子ビーム加工，放電加工 |
3 |
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| ５．イオンビーム加工，スパッタリング |
3 |
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| ６．電鋳 |
3 |
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| ７．リソグラフィ |
4 |
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| ７．エッチング加工 |
4 |
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| ８．真空蒸着 |
3 |
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| ９．まとめ |
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| 教科書 |
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| 補助教科書 |
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| 履修上の注意 |
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| 評価基準 |
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| 評価法 |
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| 学習・教育目標 |
東京高専 |
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JABEE |
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