| 授業の目標と概要 |
| 気体放電の基礎理論、コロナ・グロー放電などのプラズマ現象の基礎を理解し、物理的なイメージができるようになること |
| を目標とする。 |
| プラズマ諸量とプラズマ診断について学び、さらにプラズマ応用技術の一例として、プラズマプロセッシングについ |
| ての理解を深める。 |
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| カリキュラムにおける位置づけ |
| 気体放電により生成されるプラズマはさまざまな分野で利用されている。特にプラズマプロセッシングがエレクトロニ |
| クスへ果たす役割は非常に大きい。電子材料・材料プロセス・電子物性などと関連付けてプラズマ応用技術を理解す |
| る。 |
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| １．真空中の電子の運動 |
4 |
| 電界や磁界による電子の加減速、電子の運動軌跡を計算することができる。 |
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| ２．気体放電の基礎 |
6 |
| 気体放電の物理的な現象として電子と原子・分子との衝突現象を理解し、気体放電の基礎を学ぶ。 |
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| ３．気体の絶縁破壊とコロナ放電・アーク放電 |
6 |
| 気体の絶縁破壊と放電の条件について学ぶ。各種放電現象について理解する。 |
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| ４．グロー放電 |
6 |
| 比較的安定な放電状態であるグロー放電の基本的特性について学ぶ。 |
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| ５．プラズマ諸量とプラズマ診断 |
4 |
| プラズマの基本的性質を理解し、プラズマ諸量とプラズマ診断について学ぶ。 |
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| ６．プラズマ応用 |
4 |
| プラズマの応用技術を紹介し、一例として各種プラズマプロセス技術についての理解を深める。 |
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| 教科書 |
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| 補助教科書 |
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IU プラズマエレクトロニクス 菅井秀郎編著 オーム社
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| 履修上の注意 |
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物理学・応用物理、電磁気学、気体分子運動論についての基礎的な知識を必要とする。微分・積分、微分方程式などの数学的知識を必要とする。
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| 評価基準 |
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定期試験及びレポートにより、気体放電の基礎と各種放電現象を理解していること。
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| 評価法 |
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| 学習・教育目標 |
東京高専 |
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JABEE |
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