| 授業の目標と概要 |
| 集積回路は，あらゆる電子機器に組み込まれ，社会生活，家庭生活に浸透している。そして，集積回路技術は， |
| 今後も社会生活，家庭生活，そして，日本の産業を支え続けると考えられる。本講座では，複雑化する集積回路 |
| デバイスの，デバイス構造，製造プロセス，そして，回路の要所を理解することを目標とする。 |
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| カリキュラムにおける位置づけ |
| 電子物性・デバイス分野における半導体の応用技術に関する内容 |
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| １．集積回路の発展 |
29.5 |
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| ２．集積回路におけるバイポーラトランジスタの構造，特性，および，基本回路 |
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| ３．集積回路におけるMOSトランジスタの構造，および，特性 |
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| ４．CMOSを使った基本回路 |
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| ５．RAM，DRAM，ROM，フラッシュメモリ |
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| ６．集積回路のパターン |
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| ７．集積回路の設計および材料の準備と工程 |
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| ８．酸化膜と不純物拡散 |
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| ９．金属膜と絶縁膜の成膜 |
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| １０．ホトリソとエッチング |
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| １１．クリーン化と洗浄 |
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| １２．組み立て・信頼性と検査 |
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| 教科書 |
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| 補助教科書 |
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| 履修上の注意 |
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電子物性Ⅰ，Ⅱ，アナログ回路Ⅰ，Ⅱ，ディジタル回路などで履修した半導体物性，および，電子回路の基本を理解しておくこと。
”集積回路のパターン”について学習する際に色鉛筆を使用する。
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| 評価基準 |
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教科書の内容を十分理解し，章末問題レベルを６０点以上とれること。
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| 評価法 |
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| 学習・教育目標 |
東京高専 |
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JABEE |
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