研究室情報
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研究内容
本研究室では、「光を利用したセンサ」の研究に取り組んでいます。センサは人間の五感 (視覚・聴覚・触覚・嗅覚・味覚)に相当し、力、音などの物理量やにおい、味などの化学量を検知するためのものです。家電製品、ロボット、自動車などには数多くのセンサが内蔵されその動作を支えていて、2023年には、情報社会の発展に伴い年間1兆個のセンサが活用されるトリリオンセンサの時代が来ると予想されています。従来のセンサの多くは電気を利用しているのですが、医療分野や化学プラント、発電プラント等の特殊環境下では漏電やショートが問題になることがあります。一方で、「光」を浴びたり触ったりしても感電しないように、「光を利用したセンサ」は安全性・信頼性が高く、病院やプラント等の特殊な環境下でも使用することができます。本研究室では、センサ用の材料・プロセス開発から新しいセンサの提案と実証実験に取り組んでいます。最近では、MEMSセンサを利用したIoTシステムの開発にも取り組んでいます。右図には光MEMS圧力センサを血圧直接測定に応用した例を示します。
（図は、光MEMS圧力センサの直接血圧測定への応用）
卒業研究テーマ
光MEMS圧力センサ(安全性・信頼性の高い圧力センサ)
表面プラズモン共鳴を利用した光MEMS血糖値センサの研究(患者への負担少ない。唾液・呼気から血糖値を予測。)
SiC光導波路の透明性向上の研究 (高圧・高温に耐久性のある透明な光導波路。)
MEMSセンサを用いたIoTシステムの開発
主要研究業績
- 新國 広幸, 沼田千鶴, 山路涼斗, 伊藤浩, 川又由雄,“反応性スパッタリング法を用いた光導波路用SiCO薄膜の透明性向上”, 電気学会論文誌E, Vol. 140, No12, pp. 369-377, 2020.
- 高橋大翔, 新國広幸, 伊藤浩, 藤井大樹,” 高感度・広帯域を両立させる応力集中型光MEMS圧力センサの理論解析”, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, S-064, 2019.
- Hiroyuki Nikkuni, Masashi Ohkawa, and Takashi Sato, ”Design guidelines for a guided-wave optical pressure sensor based on dependences of sensitivity and resonance frequency on diaphragm dimensions”, Optical Engineering, Vol.56(5), pp.057108-1-057108-9, 2017.
電気工学科志望者へひとこと
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