研究室情報
|
|
|
|
|
|
|
|
|
研究内容
本研究室では、新しいデバイス創生に向けた材料開発とそのプロセス技術に関する研究を行っています。
例えば、高機能な光センサ、太陽電池の保護膜による性能向上、透明導電膜、マイクロセンサをテーマとして活動しています。実際に微小な素子を作る技術を学び、素子の特性を評価することで、体験的に電子材料の理論から先端技術を学ぶことができます。
（図はマイクロヒータの写真）
卒業研究テーマ
TiNマイクロヒータを用いたMEMSセンサー開発
圧電材料を用いたマイクロ発電デバイスの開発
赤外線光学フィルターを用いたセンサーの開発
透明導電膜の材料開発と、ガスセンサへの応用
太陽電池の発電効率向上へ向けた研究
主要研究業績
[1]伊藤 浩, 川又由雄, 新國広幸，"TiNを用いた梁構造マイクロヒータの作製と評価",電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）,Vol.140(8),pp.209 - 213,2020.
[2]川又由雄, 伊藤浩, 新國広幸, 伊藤未希雄，"DCスパッタリングによるa-Si:Hの基礎特性と短波近赤外用バンドパスフィルターへの応用及び耐久性評価",表面と真空,Vol.63(9), pp.26 - 31 2020.
[3]伊藤 浩, 川又由雄，"反応性スパッタリング法を用いたSiN膜の作製とエッチング特性",東京工業高等専門学校研究報告書 (51), pp.31 - 34 2020.
[4]伊藤 浩，"酸化物半導体SnO2ガスセンサの作製と評価",東京工業高等専門学校研究報告書, (50),pp.46 - 50, 2019.
[5]伊藤 浩, 新國広幸，"TiNを用いたMEMSガスセンサ用マイクロヒータの作製と評価",電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, Vol.138(6), pp.257 - 262,2018.
電気工学科志望者へひとこと
電気工学科では学ぶ範囲は幅広いですが、将来自分のやりたい分野を見つけることができます。